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我國的環(huán)保水處理行業(yè), 近些年得到快速的發(fā)展,并且未來前景廣闊。在供水和污水處理工藝中有賴于使用壓力傳感器為系統(tǒng)保護(hù)和質(zhì)量保證提供重要控制和監(jiān)測(cè)手段。
壓力傳感器將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,該壓力電信號(hào)也可進(jìn)而用于測(cè)量靜態(tài)流體的液位,因此可用來測(cè)量液位。壓力傳感器的敏感組件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔離膜片和導(dǎo)氣管組成,被測(cè)介質(zhì)壓力P通過隔離膜片和硅油傳遞到硅杯元件的一側(cè),大氣參考?jí)簆o通過導(dǎo)氣管作用到硅杯元件的另一側(cè),硅杯元件是一個(gè)底部加工得很薄 的杯形單晶硅片。杯底膜片在壓力P和Po做用下產(chǎn)生位移極小的彈性變形,單晶硅是理想的彈性體,其變形與壓力成嚴(yán)格的正比關(guān)系,而且復(fù)原性能又極好。
硅膜片上用半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝形成的四個(gè)橋路電阻布置成方形,當(dāng)硅膜片受到壓力產(chǎn)生變形時(shí),處于對(duì)角線上的二電阻受壓應(yīng)力,而另為二個(gè)電阻受張應(yīng)力,由于擴(kuò)散硅的壓阻效應(yīng),使相對(duì)的二個(gè)電阻阻值增大,二另為二個(gè)電阻阻值減小。如果在A-A二端上加上電壓,則C-D間就有一個(gè)P-Po差壓成正比的電壓信號(hào)輸出。
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